特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內,存有內容物時,無論內容量多少,在該容器儲存場地2m內,嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環境溫度≤40℃為佳。特種氣體的儲存注意事項:儲存場地的道路,應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區分存放。充填容器入庫前需檢漏,長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次,并做記錄。20 世紀 80 年代,電子產 業的興起推動特種氣體的需求提高,隨著氣體供應商供氣模式的引入,國內 企業原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發展為獨立的氣體公司,國內特種氣體市 場逐步發展起來。
我國特種氣體行業在 2006 年后進入快速發展階段,廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環保和新興產業領域,特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業生產中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產的特種氣體。特種氣體在集成電路領域的應用:特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導體產業鏈的 上游,被稱為半導體的“源”,主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。
特種氣體種類:電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝,被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業生產中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產的特種氣體。