特種氣體在集成電路領域的應用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產業鏈的 上游，被稱為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體分類：標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻， 穩定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和多元標準氣體，目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環保、傳感器校核等諸多領域的需求，特種氣體在太陽能電池中的應用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
特種氣體分類：電子氣體是指用于半 導體及其它電子產品生產的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數量和質量與 發達國家相比，尚有較大差距；特種氣體指半導體生產環節中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，特種氣體的重要性：在半導體工藝中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環節都離 不開電子特氣，因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。
我國特種氣體行業在 2006 年后進入快速發展階段，廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環保和新興產業領域，特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻，穩定性良好和量值準確的氣體，它可以是單一的純氣體或高純氣體，也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一，故又稱為氣體標準物質。電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發光二極管、太陽能電池等半導體行業生產制造過程中不可或缺的關鍵性化工材料，被廣泛的應用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。
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